Ministère de l'Éducation Nationale - CNR - SM
Avec l'objectif d'optimiser un dépôt d'une couche mince sur un wafer de silicium, des expériences selon un plan de Doehlert ont été réalisées.
Avec l'objectif d'optimiser un dépôt d'une couche mince sur un wafer de silicium, des expériences selon un plan de Doehlert ont été réalisées.